意法半導體（STMicroelectronics；ST）宣布與新加坡A*STAR IME研究所，以及日本制造工具供應商ULVAC合作，在意法半導體新加坡晶圓廠內聯(lián)合打造一條以壓電式MEMS技術為重點研究方向的8寸（200mm）晶圓研發(fā)生產線。此「Lab-in-Fab」研發(fā)生產線，全球首創(chuàng)將整合三間合作公司在壓電材料、壓電式MEMS技術和晶圓制造工具領域的領先技術，以及優(yōu)勢互補的研發(fā)能力，促進新材料和制程技術創(chuàng)新發(fā)展，加速企業(yè)客戶的產品研發(fā)。

Lab-in-Fab實驗室包括意法半導體在宏茂橋工業(yè)園區(qū)內一個新建的無塵室，將配備合作三方所提供的工具設備和專用資源，為MEMS研發(fā)制程科學家和工程師提供工作場所。IME微電子在壓電式MEMS元件設計、制程整合和系統(tǒng)整合方面的知識和產業(yè)驅動力，將為研發(fā)生產線的發(fā)展提供積極的加值作用。

IME還將提供最先進的工具設備，確保科技創(chuàng)新成果順利轉化為產品，全部過程都在同一地點完成。新的研發(fā)生產線還將利用意法半導體現(xiàn)有資源，發(fā)揮在同一園區(qū)內之ST晶圓廠的規(guī)模經濟優(yōu)勢。

預計「Lab-in-Fab」設施將在2021年第二季落成啟用并出產首批晶圓，預計在2022年底量產。

意法半導體類比元件、MEMS和感測器（AMS）產品部總裁Benedetto Vigna表示，「我們與IME和ULVAC在此前已有較長的合作經驗，這次新合作旨在共同創(chuàng)辦世界領先的壓電式MEMS材料、技術和產品研發(fā)中心。這個全球首創(chuàng)實驗室將設立於意法半導體之策略要地━新加坡工廠。Lab-in-Fab將讓我們的客戶能夠輕松完成從概念可行性研究到產品量產的轉化過程。」

此次合作還可加強意法半導體新加坡公司現(xiàn)有的制程組合，并加速在前景可期的新應用領域采用壓電式MEMS致動器，新興應用包括智慧眼鏡、AR頭戴式裝置和LiDAR系統(tǒng)使用的MEMS微鏡；新興醫(yī)療設備所使用的壓電微機械超音波換能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer；PMUT），以及商用和工業(yè)用3D印表機的壓電式噴頭。

IME執(zhí)行院長Dim-Lee Kwong教授則表示：「IME、ST和ULVAC之間的合作專案構建了一個獨特的研發(fā)生產線，這個生產線將采用壓電材料開發(fā)創(chuàng)新產品，加強合作夥伴的競爭力。這些努力將會讓高價值的研發(fā)繼續(xù)扎根於新加坡，并證明新加坡仍是產業(yè)龍頭開啟技術創(chuàng)新和發(fā)展業(yè)務的首選地區(qū)。A*STAR將致力於協(xié)助在地中小型企業(yè)研發(fā)并利用我們的技術。我們歡迎企業(yè)與IME合作，使用Lab-in -Fab實驗室設施進行概念驗證。」

ULVAC執(zhí)行長、資深研究員Koukou SUU博士進一步表示：「我們很高興能成為ST和IME的Lab-in-Fab合作夥伴，為眾多前景廣闊的未來應用開發(fā)先進壓電式MEMS產品，這也充分證明了ULVAC在壓電MEMS制造技術解決方案市場上的領先地位。我們期待與合作夥伴密切合作，使合作圓滿成功。」