Tektronix（太克科技）推出Keithley S540功率半導(dǎo)體測試系統(tǒng)，這是為高達(dá)3kV的功率半導(dǎo)體裝置和結(jié)構(gòu)提供的全自動48針腳參數(shù)測試系統(tǒng)。完全整合的S540是專為與最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料（包括碳化矽（SiC） 和氮化鎵（GaN）） 搭配使用而進(jìn)行最佳化處理，可在一次探頭接入中執(zhí)行所有高壓、低壓和電容等測試。
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| 專為最新的功率半導(dǎo)體裝置所提供的全自動高速晶圓級參數(shù)測試解決方案，包括高達(dá)3 kV的SiC和GaN。 |
隨著對功率半導(dǎo)體裝置的需求不斷提高，同時(shí)，SiC和GaN也日益商業(yè)化，制造商正在生產(chǎn)制程中采用晶圓級測試，以有效提升良率并改善盈利能力。針對這些應(yīng)用，S540顯著地縮短了測試時(shí)間和測試設(shè)定時(shí)間，并減少了占用空間，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室級高電壓量測效能，進(jìn)而降低了擁有成本。
Tektronix的Keithley產(chǎn)品系列總經(jīng)理Mike Flaherty表示：「許多晶圓廠正使用自訂的混合測試系統(tǒng)來執(zhí)行功率半導(dǎo)體測試，在從低電壓測試轉(zhuǎn)向高電壓測試時(shí)，需手動變更測試設(shè)定。正如您所預(yù)期，這會增加制程步驟并拖慢生產(chǎn)速度。相較之下，S540是一款完全整合的解決方案，特別適合必須迅速測試各種裝置的生產(chǎn)環(huán)境。」
為提供生產(chǎn)級效能，S540可在高達(dá)48針腳上執(zhí)行參數(shù)量測，而不需更換電纜或探棒卡設(shè)施，還可執(zhí)行高達(dá)3kV的電晶體電容量測，如Ciss、Coss和Crss，而無需手動重新配置測試針腳。 S540還提供了pA級量測效能，可在不到1秒內(nèi)執(zhí)行全自動高壓泄漏電流測試，進(jìn)一步提升了測試產(chǎn)出量。
S540為標(biāo)準(zhǔn)商業(yè)化產(chǎn)品，提供了可完整追蹤的系統(tǒng)規(guī)格、安全相容性、診斷功能，以及全球性服務(wù)和支援，而這些都視內(nèi)部開發(fā)或自訂的系統(tǒng)常無法提供的功能。 S540秉承了Keithley 30余年的半導(dǎo)體參數(shù)經(jīng)驗(yàn)，完美整合了半導(dǎo)體測試儀器與高低電壓切換矩陣、連接纜線、探棒卡轉(zhuǎn)接器、探測器驅(qū)動程式和測試軟體。
