經(jīng)濟(jì)部技術(shù)處，協(xié)同英國(guó)在臺(tái)辦事處，共同促成工研院與英國(guó)牛津儀器(Oxford Instruments)合作，簽屬前瞻半導(dǎo)體量測(cè)技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室合作備忘錄，規(guī)劃整合工研院與牛津儀器的共同研發(fā)能量，布局下世代半導(dǎo)體檢測(cè)實(shí)力。
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| 經(jīng)濟(jì)部推進(jìn)半導(dǎo)體先進(jìn)量測(cè)，促工研院、英國(guó)牛津儀器國(guó)際合作。 |
經(jīng)濟(jì)部技術(shù)處表示，臺(tái)灣是全球半導(dǎo)體重要樞紐，具有完整產(chǎn)業(yè)鏈外，更以2奈米制程技術(shù)領(lǐng)先全球。根據(jù)Mordor Intelligence市場(chǎng)調(diào)查統(tǒng)計(jì)，2020年半導(dǎo)體計(jì)量檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模為41.647億美元，預(yù)計(jì)到2026年將達(dá)到53.734億美元，具有極大發(fā)展?jié)摿Α４舜魏献靼甘前雽?dǎo)體先進(jìn)量測(cè)的里程碑，牛津儀器公司是全球知名儀器設(shè)備制造跨國(guó)集團(tuán)，先進(jìn)產(chǎn)品與服務(wù)遍布全球。而工研院擁有全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體先進(jìn)量測(cè)技術(shù)，雙方合作可利于加速國(guó)內(nèi)前瞻半導(dǎo)體技術(shù)應(yīng)用，發(fā)展更完整的半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)。
英國(guó)在臺(tái)辦事處代表鄧元翰指出，半導(dǎo)體對(duì)全球產(chǎn)業(yè)發(fā)展影響甚巨，不論是車電、3C等領(lǐng)域都具舉足輕重地位。英國(guó)擁有牛津等數(shù)家世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體公司，聚焦在超低功耗 IC 設(shè)計(jì)到復(fù)合半導(dǎo)體設(shè)計(jì)和生產(chǎn)，為世界領(lǐng)先的工業(yè)制造公司和科研團(tuán)體提供高科技設(shè)備和服務(wù)。工研院是推動(dòng)臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要推手，期待牛津儀器與工研院的合作能創(chuàng)造出更多創(chuàng)新、協(xié)作與伙伴關(guān)系。
工研院副院長(zhǎng)彭裕民表示，工研院擁有豐沛的半導(dǎo)體與光電研發(fā)能量與人才，構(gòu)面更橫跨上、中、下游產(chǎn)業(yè)鏈，目前已針對(duì)微縮至2~3奈米晶片制程，開(kāi)發(fā)前瞻性技術(shù)檢測(cè)能力。工研院與牛津儀器最早是從2017年半導(dǎo)體光電元件開(kāi)發(fā)與設(shè)備技術(shù)合作開(kāi)始，雙方具有良好合作默契，再次合作將為先進(jìn)制程提供前瞻量測(cè)技術(shù)，建立工業(yè)量產(chǎn)良率監(jiān)控的關(guān)鍵工具，期待臺(tái)英之間的國(guó)際合作可以加速雙方及產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進(jìn)步，引領(lǐng)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向新的發(fā)展。
英國(guó)牛津儀器產(chǎn)品總監(jiān)Christian Lang提到，洞察產(chǎn)業(yè)發(fā)展先機(jī)是最重要的關(guān)鍵，半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展多聚焦于微型化、高效能、低功耗等構(gòu)面的追求，尤其三維(3D)晶片堆疊設(shè)計(jì)已有重大突破，英國(guó)牛津儀器藉由仰賴工研院深厚的檢測(cè)能力，將針對(duì)下一代半導(dǎo)體的材料，打造出高精準(zhǔn)量測(cè)儀器，期待這次的雙方合作，可以再激蕩出令國(guó)際驚艷的半導(dǎo)體能量。
另外，除了雙方的簽約合作之外，為了展現(xiàn)牛津儀器全球領(lǐng)先的高科技設(shè)備開(kāi)發(fā)實(shí)力，此次英國(guó)牛津儀器也將自家研發(fā)之「AFM原子力顯微鏡」移至工研院聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行相關(guān)應(yīng)用，可以快上10倍的速度，進(jìn)行晶片結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸檢測(cè)，未來(lái)將應(yīng)用在半導(dǎo)體三維結(jié)構(gòu)的量測(cè)。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)日新月異發(fā)展，先進(jìn)量測(cè)技術(shù)將被視為半導(dǎo)體的決勝關(guān)鍵，此次工研院與牛津儀器的合作將可促使量測(cè)研發(fā)落實(shí)于系統(tǒng)整合及跨領(lǐng)域創(chuàng)新，進(jìn)一步協(xié)助產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)，帶動(dòng)臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)與產(chǎn)業(yè)成長(zhǎng)。
