KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩檢測產(chǎn)品線，自從1978年公司推出第一臺檢測系統(tǒng)以來，KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應(yīng)商，新的FlashScan產(chǎn)品線宣告公司進(jìn)入專用空白光罩的檢驗(yàn)市場。 光罩??件制造商需要針對空白光罩的檢測系統(tǒng)，用於制程開發(fā)和批量生產(chǎn)過程中的缺陷檢測，此外，光罩制造商（“掩模廠”）為了進(jìn)行光罩原料檢測，設(shè)備監(jiān)控和進(jìn)程控制也需要購買該檢測系統(tǒng)。 FlashScan系統(tǒng)可以檢查針對光學(xué)或極紫外（EUV）微影的空白光罩。
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“先進(jìn)的微影技術(shù)從表徵良好的空白光罩開始。”KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測部總經(jīng)理熊亞霖博士指出，“無缺陷的EUV光罩??件極難制造，這不僅推高了生產(chǎn)成本，也推延了EUV光刻可能帶給下一代晶片制造的惠益。 我們?nèi)碌腇lashScan空白光罩檢測儀可以在裸基板，吸收膜和光阻涂層上捕獲各種類型的缺陷。 此外，對比目前市場上的其他系統(tǒng)， FlashScan系統(tǒng)具有更高的產(chǎn)量和靈敏度，這將縮短空白光罩制造商和掩模廠的學(xué)習(xí)周期時間。”
利用KLA-Tencor晶圓缺陷檢測系統(tǒng)的激光散射技術(shù)，F(xiàn)lashScan系統(tǒng)可以滿足目前所有正在開發(fā)和生產(chǎn)的光學(xué)與EUV空白光罩對於靈敏度和檢測速度要求。采用光罩檢測市場獨(dú)特的三通道數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以對各種類型的光罩??件的缺陷進(jìn)行檢測，尺寸測量和區(qū)分，例如在空白光罩制造或運(yùn)輸期間可能出現(xiàn)在光阻上的針孔和掉落顆粒。
領(lǐng)先的掩模廠對高靈敏度、高產(chǎn)量和全類型的缺陷檢測系統(tǒng)顯示了濃厚的興趣，這證明了市場對該產(chǎn)品的需求。為了保證空白和圖案光罩制造商所需的優(yōu)異性能和產(chǎn)量，F(xiàn)lashScan系統(tǒng)由KLA-Tencor全球綜合服務(wù)網(wǎng)絡(luò) 提供技術(shù)支持。有關(guān)新FlashScan產(chǎn)品系列的更多信息（包括當(dāng)前型號的說明）請查閱FlashScan的網(wǎng)頁。
